Taille des plaquettes: 8" | Expédition: EXW
Taille des plaquettes: 8" | Processus: 2C / 2D
Les tracks coat/develop sont des systèmes automatisés de procédés humides en photolithographie qui déposent le photoresist, réalisent les cuissons et développent les wafers exposés. Ils intègrent spin‑coaters, plaques de bake, modules de développement, gestion des solvants et automatisation de cassettes en une ligne pour des épaisseurs uniformes et un haut débit. Les machines d'occasion varient selon la taille de cassette, le niveau d'automatisation et la compatibilité chimique — vérifiez les tailles de wafer et les types de résist avant l'achat.
Contrôlez la capacité des cassettes, les tailles de wafers supportées, l'historique chimique, les logs de maintenance, l'état des pompes et des spinners, ainsi que la disponibilité des pièces et manuels.
Effectuez une décontamination certifiée, vidangez et purgez les lignes chimiques, sécurisez les composants pour le transport et fournissez les documents de propreté.
Eau DI, évacuation solvants, azote/air sec, alimentation électrique adaptée, extraction/ventilation et parfois eau refroidie ou lignes de vide sont généralement requises.
Remplacement filtres et pompes, inspection des joints et tuyauteries, vérification des roulements du spinner, étalonnage des plaques de bake et nettoyage des lignes chimiques selon le taux d'utilisation.
Les consommables OEM et pièces critiques peuvent avoir des délais. Vérifiez la disponibilité des joints, pièces de pompe, spin chucks et contrôleurs avant d'acheter.