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Corée du Sud
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2004 LAM EXELAN 2300
- Fabricant: Lam Research - Novellus
Taille des plaquettes: 12" | Processus: OXIDE ETCH | Chambre: CHAMBRE UNIQUEMENT
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SOSUL TRIMA 3100
- Fabricant: SOSUL
Taille des plaquettes: 12" | Processus: PLAZMA BEVEL ETCH | Chambre: 3C/H
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2007 TEL TELIUS SCCM
- Fabricant: Tokyo Electron - TEL
- Modèle: TELIUS SCCM
Taille des plaquettes: 12" | Processus: POLYGLYCOSE À SEC | Expédition: EXW`
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TEL SCCM SHIN
- Fabricant: Tokyo Electron - TEL
- Modèle: SCCM SHIN
Taille des plaquettes: 12" | Processus: Sécheur à sec | Expédition: EXW`
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AMAT SILVIA
- Fabricant: Amat
Taille des plaquettes: 12" | Processus: TSV ETCHER (Silvia Chamber 2ch/ 1Axiom chamber) | Expédition: EXW
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