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 Corée du Sud Corée du Sud
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 - 2004 LAM EXELAN 2300- Fabricant: Lam Research - Novellus
 - Taille des plaquettes: 12" | Processus: OXIDE ETCH | Chambre: CHAMBRE UNIQUEMENT Corée du Sud
 - SOSUL TRIMA 3100- Fabricant: SOSUL
 - Taille des plaquettes: 12" | Processus: PLAZMA BEVEL ETCH | Chambre: 3C/H Corée du Sud
 - 2007 TEL TELIUS SCCM- Fabricant: Tokyo Electron - TEL
- Modèle: TELIUS SCCM
 - Taille des plaquettes: 12" | Processus: POLYGLYCOSE À SEC | Expédition: EXW` Corée du Sud
 - TEL SCCM SHIN- Fabricant: Tokyo Electron - TEL
- Modèle: SCCM SHIN
 - Taille des plaquettes: 12" | Processus: Sécheur à sec | Expédition: EXW` Corée du Sud
