2013 Oxford, Plasmalab ICP380-PLASMALAB100, ICP Etcher + PECVD
- Fabricant: Oxford
Numéro de série.: 94-515033 | Quantité: 1 | Détail de l'équipement: Graveur ICP + PECVD | Équipement: Graveur ICP + PECVD | Description: N/A
Suwon, Corée du Sud
Numéro de série.: 94-515033 | Quantité: 1 | Détail de l'équipement: Graveur ICP + PECVD | Équipement: Graveur ICP + PECVD | Description: N/A