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2011 Oxford, NGP-1000, PECVD
- Fabricant: Oxford
Numéro de série.: 94-815494 | Quantité: 1 | Détail de l'équipement: PECVD | Équipement: PECVD
Suwon, Corée du Sud
2013 Oxford, Plasmalab100-ICP380, ICP Etcher
- Fabricant: Oxford
Numéro de série.: 94-515033 | Quantité: 1 | Détail de l'équipement: Graveur ICP | Équipement: Graveur ICP | Description: N/A
Suwon, Corée du Sud
2013 Oxford, Plasmalab System100, PECVD & ICP380
- Fabricant: Oxford
Numéro de série.: N/A | Quantité: 1 | Détail de l'équipement: PECVD ET ICP380 | Équipement: ICP PECVD | Description: 415V, 50Hz
Suwon, Corée du Sud
2013 Oxford, Plasmalab ICP380-PLASMALAB100, ICP Etcher + PECVD
- Fabricant: Oxford
Numéro de série.: 94-515033 | Quantité: 1 | Détail de l'équipement: Graveur ICP + PECVD | Équipement: Graveur ICP + PECVD | Description: N/A
Suwon, Corée du Sud
Corée du Sud
Plasmalab ICP380 & Plasmalab100 ICP Etcher 100 RIE+PECVD
- Fabricant: OXFORD
Corée du Sud