MKS, 1179A51CR1CV-K, Régulateur de débit massique (MFC)
- Fabricant: MKS
Numéro de série.: 100008572 | Quantité: 1 | Détail de l'équipement: Contrôleur de débit massique (MFC) | Équipement: Contrôleur de débit massique (MFC) | Description: Gaz : 10% PH3/AR, Gamme : 50SCCM
Suwon, Corée du SudMKS, 1179A00712CR1CV-K, Contrôleur de débit massique (MFC)
- Fabricant: MKS
Numéro de série.: 100003287 | Quantité: 1 | Détail de l'équipement: Contrôleur de débit massique (MFC) | Équipement: Contrôleur de débit massique (MFC) | Description: Gaz : N2(90% )+B2H6(10% ), Gamme : 100SCCM
Suwon, Corée du SudMKS, 1179A51CR1CV-S, Régulateur de débit massique (MFC)
- Fabricant: MKS
Numéro de série.: 1179A3332409 | Quantité: 1 | Détail de l'équipement: Contrôleur de débit massique (MFC) | Équipement: Contrôleur de débit massique (MFC) | Description: Gaz : GEH4(90% )+N2(10% ), Gamme : 30SCCM
Suwon, Corée du Sud