Nouvelle HGTECH Defect Detection Series Semiconductor Substrate Defect Detection Equipment (équipement de détection des défauts de substrats semi-conducteurs) à Wuhan, Hubei, Chine
Nouvelle
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Specifications
- Condition
- nouvelle
- Article
- Paramètres principaux
- Paramètres généraux
- Taille de la plaquette ; Standard 4", 6" (extensible 4" - 8")
- Nombre de boîtes
- Double plateau, 14 pièces
- Méthode de chargement et de déchargement
- Robot, scanner cartographique
- Plate-forme de mouvement
- Course Y 350mm，précision répétitive 10μm Course Z 8mm，précision répétitive 5μm
- Capacité
- 4" , 140WPH 6" , 120WPH
- Performance de détection
- Précision du test ; 7 μm
- Caméra
- Caméra industrielle haute résolution
- Objectif
- Objectif industriel HD
- Source lumineuse
- Source lumineuse brevetée
- Exigences en matière d'environnement
- Spécifications de l'alimentation électrique ; AC220V， 50Hz
- Exigences en matière de sources d'air
- 0,5-0,7Mpa d'air comprimé, sans vapeur d'eau évidente et sans graisse
- L'utilisation de l'environnement
- Température : 15-40 ℃. Humidité requise : 30 % - 70 %, pas de gel
- Taille globale
- 1800mm*1300mm*2250mm
- Catégorie
- Test et mesure à Chine
- Sous-catégorie
- Produits spécialisés
- Sous-catégorie 2
- Produits spécialisés pour l'industrie des semi-conducteurs
- Listing ID
- 73915114
Description
Avantages du produit : Convient aux plaquettes de 4 à 8 pouces, aux substrats, aux plaquettes épitaxiées et aux plaquettes à motifs Détecter les particules, les piqûres, les bosses, les rayures, les taches, les fissures et autres défauts Résolution du système : 1-10 μ m Pas de plaquette à motifs : 180 secondes / plaquette lorsque le nombre de défauts est inférieur à 200 Affichage de l'échantillon : Échantillon 1 Échantillon 2 Échantillon 3