1995 AMAT, P5000, PECVD (2 chambres)
- Fabricant: Amat
- Modèle: P5000
Numéro de série.: 4267 | Quantité: 1 | Détail de l'équipement: PECVD | Équipement: PECVD
Suwon, Corée du Sud1997 AMAT, P5000, PECVD (3 chambres)
- Fabricant: Amat
- Modèle: P5000
Numéro de série.: 4420 | Quantité: 1 | Détail de l'équipement: PECVD (3 chambres) | Équipement: PECVD | Description: 3Chambre (Gaz O2, CF4, SiH4, GeH4, N20, N2)
Suwon, Corée du Sud