MKS, 1179A00712CR1CV-K, Contrôleur de débit massique (MFC)
- Fabricant: MKS
Numéro de série.: 100003287 | Quantité: 1 | Détail de l'équipement: Contrôleur de débit massique (MFC) | Équipement: Contrôleur de débit massique (MFC) | Description: Gaz : N2(90% )+B2H6(10% ), Gamme : 100SCCM
Suwon, Corée du SudMKS, 1179A02733CR1CV-K, Contrôleur de débit massique (MFC)
- Fabricant: MKS
Numéro de série.: 100003842 | Quantité: 1 | Détail de l'équipement: Contrôleur de débit massique (MFC) | Équipement: Contrôleur de débit massique (MFC) | Description: Gaz : N20, Gamme : 3000SCCM
Suwon, Corée du Sud2017 Brooks, GF125CXXC, MFC (Mass Flow Controller)
- Fabricant: Brooks
- Modèle: GF125CXXC
Numéro de série.: N/A | Quantité: 52 | Détail de l'équipement: MFC (Mass Flow Controller) | Équipement: MFC (Mass Flow Controller) | Description: Gaz : He, débit : 10SLM/10000SCCM
Suwon, Corée du Sud